電子ビーム加工

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国立国会図書館分類表(NDLC)的ニュース検索 / ND:電気工学 / ND416:電子応用機器
2025/07/02 - 13:30

加速器を用いた「省電力次世代EUV露光技術」開発へ：消費電力は既存EUV光源の1/10に - EE Times Japan

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